半導体とスプレーセンシング
Our Tactile Sensing technology has allowed semiconductor manufacturers to improve tolerances in manufacturing and produce wafers with more precision and accuracy. This application of low-pressure sensors has fueled products that optimize semiconductor polishing disk pressures while significantly reducing tilt errors. The スプレーセンサー allows for precision measurement of spray pattern and distribution from wafer cleaning sprays, allowing for identification of the optimal spray power to reduce the likelihood of wafer damage while ensuring proper wafer cleaning. The ultra-low-pressure sensitivity of the スプレーセンサー allows for precision measurement, testing, and refinement of cleaning sprays, aerosol nozzles, and any other application involving low pressure or pattern distribution.
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スプレーセンサー
スプレーノズルのパターンと圧力の可視化と定量化
スプレーされた流体またはガスによって生成された瞬間的で実用的なスプレーパターンおよびスプレー圧力データを取り込むように設計された、感度の高い、防水型の容量性触覚センサーアレイ。
スプレーの分布と衝撃圧力を把握し、スプレーされた液体やガスが着地する場所とパターンを正確に特定します。
スプレー圧力またはスプレーパターンの2つのアプリケーションバリエーションがあり、スプレー圧力が無限に小さい状況での使用に最適です。
